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濕法清洗臺

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濕法清洗臺，具有溢流漂洗功能，按鍵控制進(jìn)水、排水，全程電阻率監(jiān)測。可進(jìn)行酸堿濕法腐蝕，lift-off工藝去膠清洗，硅、二氧化硅、氮化硅等濕法刻蝕。